• 德国原装进口Alpha Plasma微波等离子系列 AL18

  2021-11-12 14:22:41
  
  
  
  机台名称：微波等离子清洗机（德国原装进口）
  机台型号：Alpha Plasma AL18
  腔室容积：18升
  整机尺寸：530mm (W)×600mm (D ) ×550mm (H)
  腔室尺寸：250mm (W)×290mm (D ) ×250mm (H)
  腔门： 铰链式腔门，带观察窗
  微波源：2.45GHZ,50-600W可调
  气路：标配两路工艺气体，MFC质量流量计
  真空规：Pirani,1-1000Pa
  真空系统：DN 25 ISO-KF
  真空泵：干泵，XDS35i BOC Edwards
  真空阀：电动气动阀
  控制系统：7寸触摸屏、Windows,RS232,USB,图形化操作届面
  选配件：增加气路、样品台、升级14寸触摸屏等
  电力：3/N/PE AC 50Hz 400/240V 16A
  重量：40KG(不含泵）；约100KG(含泵）
  特点：无残留成分，清洗干净彻底，无需干燥处理，低温操作，对样品无损伤，全自动运行。
  用途：适用于普通光刻胶及SU8厚胶去除，MEMS中牺牲层去除，清除浮渣工艺，键合封装前样片清洁。

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