真空等离子表面处理机（等离子清洗机）是等离子清洗机的一种类型，设备处理过程需要真空环境，所以被处理产品需要放入封闭处理环境中，并通过真空泵抽离内部气体，放入工艺气体，维持低压真空的状态，进行等离子辉光放应，处理产品，解决表面难题。
真空等离子表面处理机作用：
1、表面清洁：利用等离子体技术可以清除物体表面的污染物、氧化层、有机污染物等，使其表面变得干净，从而提高表面质量。
2、表面改性：等离子体可以在物体表面产生化学反应，改变表面物质的化学性质，从而改善其性能，如提高耐腐蚀性、粘接力、亲水性、耐磨性等。
3、表面涂层：利用等离子体技术可以在物体表面形成一层新的材料涂层，从而提高表面的耐磨性、耐腐蚀性、导电性等。
4、表面刻蚀：利用等离子体技术与物体进行反应，生产挥发性物质，让表面形成纹路、图案等。
真空等离子表面处理机的应用非常广泛，设计电子信息、半导体制造、医疗器械、汽车制造等等行业中，是出色的表面处理解决方案。
