德国原装进口Alpha Plasma微波等离子系列AL76
日期：2019-04-25 17:02:26
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机台名称：微波等离子清洗机（德国原装进口）
机台型号：Alpha Plasma AL76
腔室容积：76升
整机尺寸：770mm (W)×800mm (D ) ×775mm (H)不含报警灯高度
腔室尺寸：400mm (W)×490mm (D ) ×400mm (H)
腔门： 铰链式腔门，带观察窗
微波源：2.45GHZ,50-1200W可调,空气冷却
气路：标配三路工艺气体，MFC质量流量计
真空规：MKS,1-1000Pa
真空系统：DN 63 ISO-K 至DN 40 KF
真空泵：干泵，XDS35i BOC Edwards
真空阀：电动气动阀
控制系统：10.4寸触摸屏、Windows,RS232,USB,图形化操作届面
选配件：增加气路、样品台、升级14寸触摸屏等
电力：3/N/PE AC 50Hz 400/240V 16A
重量：200KG(不含泵）；约390KG(含泵）
特点：无残留成分，清洗干净彻底，无需干燥处理，低温操作，对样品无损伤，全自动运行。
用途：适用于普通光刻胶及SU8厚胶去除，MEMS中牺牲层去除，清除浮渣工艺，键合封装前样片清洁。
