德国原装进口Alpha Plasma微波等离子系列 AL18
日期：2021-11-12 14:22:41
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机台名称：微波等离子清洗机（德国原装进口）
机台型号：Alpha Plasma AL18
腔室容积：18升
整机尺寸：530mm (W)×600mm (D ) ×550mm (H)
腔室尺寸：250mm (W)×290mm (D ) ×250mm (H)
腔门： 铰链式腔门，带观察窗
微波源：2.45GHZ,50-600W可调
气路：标配两路工艺气体，MFC质量流量计
真空规：Pirani,1-1000Pa
真空系统：DN 25 ISO-KF
真空泵：干泵，XDS35i BOC Edwards
真空阀：电动气动阀
控制系统：7寸触摸屏、Windows,RS232,USB,图形化操作届面
选配件：增加气路、样品台、升级14寸触摸屏等
电力：3/N/PE AC 50Hz 400/240V 16A
重量：40KG(不含泵）；约100KG(含泵）
特点：无残留成分，清洗干净彻底，无需干燥处理，低温操作，对样品无损伤，全自动运行。
用途：适用于普通光刻胶及SU8厚胶去除，MEMS中牺牲层去除，清除浮渣工艺，键合封装前样片清洁。
