机台名称：准辉光常压宽幅等离子模组
机台型号 ：PCF-6000B
模块化设计，结构紧凑，便于安装到流水线设备上
有极好的高速处理效果，处理白玻璃速度约400毫米/分钟 (接触角< 10 °)
只需要使用压缩空气(用于散热)
较低的处理温度，基片温度< ~ 40 °C
不存在热损伤和热氧化的问题
臭氧释放量( < ~ 0.01 ppm)
紧凑的模块化设计 (宽：60mm)
等离子处理宽度：100~10000mm（可定制）
较低的等离子处理温度
基片温度< ~ 40 °C
主要应用：白玻璃 清洁，绝缘薄膜清洁活化，平板覆膜清洁。
